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ALCATEL分子泵的安裝環境你了解幾個因素
ALCATEL分子泵的安裝環境你了解幾個因素
更新時間：2020-08-24 點擊次數：1668
ALCATEL分子泵
是一種非常常見的獲得高真空和超高真空的設備，廣泛應用于IC生產制造的各個工藝。分子泵的抽氣機理與機械泵靠泵腔容積變化進行抽氣的機理不同，利用了動量傳遞原理，使分子定向流動而被排出泵外，從而達到抽氣的目的。在分子流區域內，氣體分子與高速轉到的葉片表面碰撞，動量傳遞給氣體分子，使部分氣體分子在剛體表面的運動方向上，產生定向流動而被排出泵外，從而達到抽氣的目的。正確的使用和及時的保養，對分子泵軸承乃至整個分子泵的正常工作意義重大。確認安裝環境必須滿足如下條件：
1) 泵體表面徑向和軸向磁場強度均不得大于3mT(30Gs)；
2) 環境放射性強度<105rad；
3) 環境溫度為5~40℃；
4) 空氣相對濕度：≤85%；
5) 電壓：220±22V，頻率：50±1Hz；
6) 海拔：≤3000米。
安裝前應檢查分子泵運輸中是否被損壞：打開泵高真空端法蘭蓋板，戴好手套，撥動渦輪轉子，應轉動靈活，無異常現象。若存在異常現象，應及時通知我公司，不得自行處理，否則由此帶來損失我公司概不負責。
不允許將分子泵長期置于大氣狀態下存放，在打開進氣口和排氣口盲板時，應注意真空衛生要求，嚴禁雜物、灰塵等落入泵內。安裝環境應符合技術要求和真空衛生要求。
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